硅片抛光质量不好会对MOS场效应管的性能产生什么影响？
首先，如果硅片表面不平,在光刻曝光时就只有硅片表面的突起部分与版子接触，其他部分无法与版子贴紧，这就会造成光刻图形不清、窗孔缩小、线条间断等毛病。其次，在硅片的切割、粗磨等过程中，强烈的机械作用将在硅片表面造成许多缺陷。这些缺陷如果在以后的抛光过程中没有逐步减小、除尽，那就很难在这样的片子上做出性能良好的结。表面缺陷的存在还会使载流子的表面迁移率降低。因此，研磨、抛光乍看起来虽然简单.但仍是必须认真掌握的一个重要工序，稍一疏忽，整批片子一开始就会大受损伤。反映在MOS场效应管的电性能上就会出现夹断特性不好(泄漏电流大)、噪声大、源漏耐压低、饱和电流大、夹断电压高等弊病。