真空等离子喷涂工作原理及特点
将等离子喷枪、工件及其运转机械置于低真空（２～１２ｋＰａ）有氩气氛保护的密闭室内，在室外控制喷涂过程。通过真空机组和过滤器保持密闭室的真空度。
真空等离子喷涂工作原理图
低真空环境下的喷涂与大气等离子喷涂相比具有以下显著特点：
１）等离子射流的速度和温度都比大气等离子喷涂明显提高，压力愈低，射流速度和温度就愈高。
２）粉末在等离子射流高温区域滞留的时间增加，受热更均匀，飞行速度更高。
３）可大幅度提高基体表面预热温度；还可以用反向转移弧对基体进行溅射清洗，清除氧化物和污垢，使涂层和基体的结合状况得到改善。
４）粉末和基体表面完全避免了氧化，能制备各种活性金属材料涂层。
５）由于以上原因，使得涂层结合强度大幅度提高，气孔率大幅度降低，涂层残余应力减小，涂层质量明显改善。
６）真空等离子喷涂设备复杂，价格昂贵，推广应用难度很大。