黑色金属的氧化膜和磷化膜、镁合金的氧化膜，通常不需测量厚度。在一般情况下，只有铝合金硬质阳极氧化膜才测定其厚度。其他铝的阳极氧化膜在必要时才进行厚度测量。
铝和铝合金的氧化膜除了可用涡流测厚仪和金相显微镜法测厚外，还可用下列方法测定其厚度：
(1)电压击穿法。此法是用专用击穿电压仪测出氧化膜的击穿电压值，并从仪器刻度盘上直接读出或由对照表查得氧化膜层厚度。
(2)质量法。用相同于被测零件的材料制成50mm X l00mm X(0．8～1)mm的试片，经前处理后随同被测零件一起入槽氧化。氧化结束后经清洗、干燥、称重并记录样板质量后，在下列溶液中退除氧化膜。
磷酸(H3P04)(密度l．72) 35mL／L 温度 90℃～l00℃
铬酸酐(Cr03) 20g／L 时间 10min～15min
退除氧化膜后，用水洗涤试片，干燥后称重，将退除氧化膜前后质量相减，得出氧化膜层质量，按下式计算：
此法不适用于含铜、镍的非均质的铝合金。