PVD是什么意思
气相沉积的基本过程包括三个步骤：即提供气相镀料；镀料向所镀制的工件(或基片）输送；镀料沉积在基片上构成膜层。
沉积过程中若沉积粒子来源于化合物的气相分解反应，则称为化学气相沉积(CVD），否则称为物理气相沉积(PVD）。
PVD是什么意思_物理气相沉积
好知识2022-07-27 11:01:57332
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